| اندازه‌گیری ضخامت لایه‌نازک مس با استفاده از روش جریان گردابی |
| کد مقاله : 1064-IRNDT |
| نویسندگان |
|
مهرانگیز کاظمی1، مجید عباسی *2، حسین میار نعیمی3، مرضیه عباسی فیروزجاه4 1دانش‌آموخته کارشناسی ارشد، رشته مهندسی نانو مواد، دانشگاه صنعتی نوشیروانی بابل 2دانشیار دانشکده مهندسی مواد و صنایع، دانشگاه صنعتی نوشیروانی بابل 3استاد، دانشکده مهندسی برق، دانشگاه صنعتی نوشیروانی بابل 4استادیار، گروه علوم مهندسی، دانشگاه حکیم سبزواری، |
| چکیده مقاله |
| در این پژوهش از روش جریان گردابی برای اندازه‌گیری ضخامت لایه‌های نازک مس استفاده شد. با انجام عملیات نورد سرد و آنیل روی فویل مس 100 میکرومتر با خلوص 8/99درصد، نمونه‌هایی با ضخامت‌های 100، 85، 50، 30 و 20 میکرومتر تهیه شد. اندازه‌گیری ضخامت لایه‌های میکرومتری توسط دستگاه ضخامت سنج دقیق و میکرومتر با دقت 1 میکرومتر و میکروسکوپ نوری در بزرگنمایی 400 برابر انجام شد. برای بررسی ضخامت به روش جریان گردابی از تغییرات امپدانس نسبت به ضخامت در بازه فرکانسی 50 تا 150 کیلوهرتز با استفاده از یک پراب نرمال با هسته فریتی با قطر 2 میلی‌متر استفاده شد. نتایج نشان داد که با افزایش ضخامت فویل، شاخص مقاومت اهمی (RX) پراب افزایش و در مقابل شاخص مقاومت خودالقایی (XL) و شاخص امپدانس (Z) کاهش می‌یابد. با استفاده از روش جریان گردابی، با دقت بسیار بالا می‌توان رابطه‌ای تجربی خطی مناسب بین ضخامت فویل و شاخص امپدانس پراب برقرار کرد. فرکانس بهینه برای این ارزیابی kHz 70 تعیین شد. |
| کلیدواژه ها |
| اندازه‌گیری ضخامت، مس لایه‌نازک، جریان گردابی، امپدانس |
| وضعیت: پذیرفته شده برای ارائه شفاهی |
